SEMで絶縁物の試料を観察するときに、帯電(チャージアップ)を防ぐための方法として正しいものはどれか。

正解：A. 加速電圧を下げる、または試料表面に薄い導電膜をコーティングする

絶縁物に電子線を当てると、電荷が逃げずにたまって像がゆがんだり明るさが乱れたりします。加速電圧を下げて入射と放出の電子のつり合いをとる、試料の表面に金や炭素などの薄い導電膜をつける、低真空の条件で観察するなどの方法で、帯電を防ぎます。