欠陥検査装置とは
けっかんけんさそうち
ウエハ上の異物やパターンの欠陥を見つける装置。光を当てたときの散乱光を検出する方式や、隣り合うダイの画像を比較する方式などがある。
この用語の分野: 計測・分析
解説の中の「欠陥検査装置」
欠陥検査装置は多数の欠陥を検出しますが、それぞれの原因を調べるには種類の分類が必要です。
検査で見つかった欠陥をSEMで撮影し、その画像から欠陥の種類を自動で分類する機能はどれか。
「欠陥検査装置」が出てくる問題(3問)
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