APC(先進的プロセス制御)とは
えーぴーしー
前の工程の計測結果などをもとに、次のロットやウエハの装置の加工条件を自動で補正する制御。Run-to-Run制御などがあり、ばらつきを小さくする。
この用語の分野: 歩留まり・品質管理
解説の中の「APC(先進的プロセス制御)」
APC(Advanced Process Control)は、計測データを使って装置の条件を自動で調整し、工程のばらつきを小さくする制御です。
前の工程の計測結果などをもとに、次のロットやウエハの装置の加工条件を自動で補正する制御はどれか。
「APC(先進的プロセス制御)」が出てくる問題(1問)
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