CD-SEMとは

しーでぃーせむ

パターンの線幅(CD)を測定するための走査電子顕微鏡。リソグラフィやエッチング後の寸法管理に使われる。

この用語の分野: 計測・分析

解説の中の「CD-SEM」

「CD-SEM」が出てくる問題(4問)

  1. CD-SEMでArFレジストのパターンを測定するとき、電子線の照射によってパターンが縮んでしまう現象を何と呼ぶか。
  2. 複数の異なる計測手法(光学式・CD-SEM・AFMなど)のデータを組み合わせて、一つの手法だけより正確に寸法や形状を求める考え方を何と呼ぶか。
  3. リソグラフィで管理される「CDU」の意味として正しいものはどれか。
  4. 走査電子顕微鏡(SEM)の原理として正しいものはどれか。

関連する用語

AFM(原子間力顕微鏡) SEM(走査電子顕微鏡) EDX(エネルギー分散型X線分光) XRD(X線回折) XPS(X線光電子分光法) FIB(集束イオンビーム) エリプソメトリ 欠陥検査装置 TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析)

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