走査電子顕微鏡(SEM)の原理として正しいものはどれか。

正解：A. 細く絞った電子線を試料表面で走査し、発生する二次電子などを検出して表面の形状を観察する

SEMは、電子線を試料の表面で走査し、そこから出る二次電子や反射電子を検出して像をつくります。光学顕微鏡より高い倍率で表面の形状を観察できます。半導体工場では、パターンの線幅を測るCD-SEM(測長SEM)が工程管理に使われています。