ヘテロエピタキシーとは
へてろえぴたきしー
基板と異なる材料の単結晶膜を成長させること。シリコン上のSiGeや、サファイア上のGaNなど。同じ材料の場合はホモエピタキシー。
この用語の分野: エピタキシャル成長
解説の中の「ヘテロエピタキシー」
基板と同じ材料を成長させるのがホモエピタキシー、異なる材料を成長させるのがヘテロエピタキシーです。
ヘテロエピタキシャル成長の例として正しいものはどれか。
「ヘテロエピタキシー」が出てくる問題(1問)
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