什麼是異質磊晶

成長與基板不同材料的單晶膜。例如矽上的SiGe，或藍寶石上的GaN。相同材料的情況則稱為同質磊晶。

日文名稱: ヘテロエピタキシー

這個名詞所屬的領域: 磊晶成長