ヘテロエピタキシー란?

へてろえぴたきしー

基板と異なる材料の単結晶膜を成長させること。シリコン上のSiGeや、サファイア上のGaNなど。同じ材料の場合はホモエピタキシー。

일본어 명칭: ヘテロエピタキシー

분야: 에피택셜 성장