ドライブインとは
どらいぶいん
熱拡散で、表面に一定量の不純物を導入(プレデポジション)したあと、高温で熱処理して不純物をより深く押し込む工程。押し込み拡散とも呼ぶ。
この用語の分野: 酸化・拡散
解説の中の「ドライブイン」
熱拡散は2段階で行われることが多く、まずプレデポジションで表面濃度を一定に保ちながら所定の量の不純物を浅く導入し、次にドライブインで供給を止めて加熱し、その量のまま内部へ広げて所定の深さと分布をつくります。
熱拡散で、表面に一定量の不純物を導入する工程のあとに、不純物をより深く押し込む工程を何と呼ぶか。導入した一定量の不純物を押し込むドライブインでは、総量が一定のまま広がり、表面濃度が下がりながらガウス分布の形になります。
熱拡散で、表面の不純物濃度を一定に保ちながら拡散させた場合(定表面濃度拡散)と、決まった量の不純物を拡散させた場合(有…
「ドライブイン」が出てくる問題(2問)
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