酸化増速拡散(OED)とは
さんかぞうそくかくさん
シリコンを酸化している間に、ボロンやリンの拡散が酸化していないときより速くなる現象。酸化で生じた格子間シリコンがシリコン中に注入されることが原因。
この用語の分野: 酸化・拡散
解説の中の「酸化増速拡散(OED)」
ボロンやリンは格子間シリコンと組んで拡散しやすいため、酸化中は拡散が数倍速くなります(酸化増速拡散、OED)。
シリコンを酸化している間に、ボロンやリンの拡散が酸化していないときより速くなる現象を何と呼ぶか。
「酸化増速拡散(OED)」が出てくる問題(1問)
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