熱擴散中,在表面導入定量雜質(預沉積)後,以高溫熱處理將雜質推入更深處的步驟。
日文名稱: ドライブイン
這個名詞所屬的領域: 氧化與擴散
可動離子 合成氣體退火 界面能態 氧化增強擴散(OED) 乾式氧化 鳥嘴效應 氮氧化矽膜(SiON) 熱氧化 熱擴散 濕式氧化
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