可動イオンとは
かどういおん
ゲート酸化膜の中を移動できるナトリウムやカリウムなどのイオン。電界や温度によって移動し、しきい値電圧を変動させる。人の汗などから混入するため厳しく管理される。
この用語の分野: 酸化・拡散
解説の中の「可動イオン」
その結果、可動イオンによるしきい値の変動が減り、酸化膜の絶縁破壊耐圧などの信頼性も向上します。
熱酸化の際に、塩化水素(HCl)などの塩素を含むガスを少量加える主な目的はどれか。酸化膜まわりの電荷は、界面のすぐ近くの酸化膜にある固定電荷(Qf、正)、ナトリウムなどの可動イオン電荷(Qm)、膜中の欠陥に捕らえられた酸化膜トラップ電荷(Qot)、界面の準位による界面トラップ電荷(Qit)の4つに分類されます。
MOS構造の酸化膜とその界面にある電荷の種類の組み合わせとして、一般的に分類されるものはどれか。ナトリウムは酸化膜の中を動く可動イオンとなってトランジスタのしきい値電圧を変動させ、有機物は成膜や接合の不良の原因になります。
ウエハを素手で触ってはいけない主な理由はどれか。
「可動イオン」が出てくる問題(4問)
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