熱拡散で、表面に一定量の不純物を導入する工程のあとに、不純物をより深く押し込む工程を何と呼ぶか。

正解：C. ドライブイン(押し込み拡散)

熱拡散は2段階で行われることが多く、まずプレデポジションで表面に一定量の不純物を導入し、次にドライブインで不純物の供給を止めて加熱し、内部へ拡散させて所定の深さと濃度分布をつくります。現在は不純物の導入にイオン注入を使い、その後の熱処理で分布を調整するのが一般的です。