Deal-Groveモデルとは
でぃーるぐろーぶもでる
シリコンの熱酸化を、酸化剤が酸化膜中を拡散してSi/SiO2界面でシリコンと反応する過程として表したモデル。薄いときは膜厚が時間に比例し、厚くなると時間の平方根に比例する。
この用語の分野: 酸化・拡散
解説の中の「Deal-Groveモデル」
Deal-Groveモデル(1965年)では、酸化剤が気相から酸化膜の表面に取り込まれ、膜中を拡散してシリコンとの界面で反応し、新しい酸化膜ができると考えます。
Deal-Groveモデルによると、熱酸化はどこで進むか。Deal-Groveモデルは厚い酸化膜の成長をよく表しますが、ドライ酸化で膜厚が数十nm以下の初期の領域では、実際の酸化がモデルの予測より速く進みます。
ドライ酸化で厚さ数十nm以下の薄い酸化膜をつくるとき、Deal-Groveモデルからずれることとして知られているものは…Deal-Groveモデルでは x² + Ax = B(t + τ) となり、膜が薄いうちは界面の反応が律速で膜厚は時間にほぼ比例し(直線則、x ≈ (B/A)t)、厚くなると酸化剤の膜中拡散が律速で時間の平方根に比例します(放物線則、x ≈ √(Bt))。
熱酸化で酸化膜が十分厚くなったときの、酸化膜厚と酸化時間の関係として正しいものはどれか。
「Deal-Groveモデル」が出てくる問題(4問)
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