熱拡散で、表面の不純物濃度を一定に保ちながら拡散させた場合(定表面濃度拡散)と、決まった量の不純物を拡散させた場合(有限量の拡散)の分布の形の組み合わせとして正しいものはどれか。

正解：A. 定表面濃度:補誤差関数(erfc)分布、有限量:ガウス分布

表面の濃度を一定に保つプリデポジションでは、分布は補誤差関数(erfc)の形になります。導入した一定量の不純物を押し込むドライブインでは、総量が一定のまま広がり、分布はガウス分布の形になります。

• A. 正しい。定表面濃度はerfc、有限量はガウス分布です。
• B. 拡散の分布は直線にはなりません。
• C. 組み合わせが逆です。