ドライブイン란?

どらいぶいん

熱拡散で、表面に一定量の不純物を導入(プレデポジション)したあと、高温で熱処理して不純物をより深く押し込む工程。押し込み拡散とも呼ぶ。

일본어 명칭: ドライブイン

분야: 산화와 확산