レジストを塗る前に、ウエハ表面をHMDSなどで処理する主な目的はどれか。

正解：A. ウエハ表面を疎水性にしてレジストの密着性を高め、現像中のはがれを防ぐため

酸化膜の表面は水分を吸着しやすく、そのままではレジストがよく密着しません。HMDS(ヘキサメチルジシラザン)で処理すると表面が疎水性になり、レジストの密着性が高まって、現像中にパターンがはがれるのを防げます。

• A. 正しい。表面を疎水化して密着性を高めます。
• B. レジストの感度を変える処理ではありません。
• C. 導電性にするための処理ではありません。