屈折率とは
くっせつりつ
真空中の光の速さを、物質中の光の速さで割った値。波長1.55 µmでシリコンは約3.48、酸化膜(SiO2)は約1.45で、この差が大きいほど光を小さな導波路に強く閉じ込められる。
「屈折率」は、5分野の18問の練習問題に出てきます(シリコンフォトニクス, エピタキシャル成長, リソグラフィなど)。
この用語の分野: シリコンフォトニクス
くっせつりつ
真空中の光の速さを、物質中の光の速さで割った値。波長1.55 µmでシリコンは約3.48、酸化膜(SiO2)は約1.45で、この差が大きいほど光を小さな導波路に強く閉じ込められる。
「屈折率」は、5分野の18問の練習問題に出てきます(シリコンフォトニクス, エピタキシャル成長, リソグラフィなど)。
この用語の分野: シリコンフォトニクス
正解:B. 屈折率差が大きく光を強く閉じ込めるので、数 µmの小さな半径で曲げられ、素子を高密度に並べられる
光は屈折率の高い芯(コア)と低い周囲(クラッド)の境界で全反射して閉じ込められ、屈折率差が大きいほど強く閉じ込められます。シリコンと酸化膜の差は約2で、光ファイバのコアとクラッドの差(1%未満)よりけた違いに大きく、断面が約0.5 µm × 0.22 µmの細い導波路をつくれ、曲げ半径も数 µmまで小さくできます。一方、屈折率差が大きいほど側壁の凹凸で光が散乱されやすく、伝搬損失は条件によりますが代表的なストリップ導波路で1〜3 dB/cm程度(リブ導波路や低損失なプロセスではそれ以下)と、ファイバ(約0.2 dB/km)よりはるかに大きくなります。
光は屈折率の高い芯(コア)と低い周囲(クラッド)の境界で全反射して閉じ込められ、屈折率差が大きいほど強く閉じ込められます。
シリコン導波路(屈折率約3.5)を酸化膜(SiO2、屈折率約1.45)で囲む構造の特徴として正しいものはどれか。ニオブ酸リチウムなどの結晶では、電界に比例して屈折率が変わるポッケルス効果を使って高速な変調器をつくれますが、シリコンは結晶構造が反転対称のため、この効果がほとんどありません。
シリコンの光変調器で、電気信号によって屈折率を変える方法としてキャリア分散効果(プラズマ分散効果)が使われる理由はどれ…全反射は屈折率の高い側から低い側へ進むときだけ起こり、逆向きでは起こりません。
屈折率3.48のシリコンから屈折率1.45の酸化膜へ光が進むとき、全反射が起こる臨界角(境界面の法線から測った角度)に…上のシリコン層(厚さ220 nmがよく使われます)を加工して導波路をつくり、屈折率の低いBOXが下側のクラッドになります。
シリコンフォトニクスで使われるSOIウエハの埋め込み酸化膜(BOX層)の主な役割はどれか。一方、溝を掘り切ったストリップ導波路は横方向の屈折率差が大きく光を強く閉じ込めるので、急な曲げや小型化に向いています。
両側に薄いシリコンの板(スラブ)を残して浅くエッチングしたリブ導波路が、シリコンの光変調器によく使われる主な理由はどれ…Amazonの検索結果へのリンクです。Amazonのアソシエイトとして、半導体教室は適格販売により収入を得ています。
導波路 リング共振器 バンドギャップ 伝搬損失 キャリア分散効果(プラズマ分散効果) シリコンフォトニクス シングルモードファイバ 間接遷移型 SOIウエハ エッジカプラ