反射防止膜(BARC)란?
はんしゃぼうしまく
レジストの下に塗る膜で、下地からの反射光によるレジスト内の定在波や、段差での寸法のばらつきを抑える。
일본어 명칭: 反射防止膜(BARC)
분야: 포토리소그래피
관련 용어
開口数(NA) 液浸露光 位相シフトマスク 焦点深度(DOF) 化学増幅型レジスト ArFエキシマレーザー EUV露光 High-NA EUV OPC(光学近接効果補正) オーバーレイ(重ね合わせ精度)
はんしゃぼうしまく
レジストの下に塗る膜で、下地からの反射光によるレジスト内の定在波や、段差での寸法のばらつきを抑える。
일본어 명칭: 反射防止膜(BARC)
분야: 포토리소그래피
開口数(NA) 液浸露光 位相シフトマスク 焦点深度(DOF) 化学増幅型レジスト ArFエキシマレーザー EUV露光 High-NA EUV OPC(光学近接効果補正) オーバーレイ(重ね合わせ精度)