ペリクルとは
ぺりくる
フォトマスクの上に一定の間隔をあけて張る薄い膜。異物がマスク面に直接付くのを防ぎ、ペリクルの上に付いた異物は焦点が合わないため転写されにくい。
この用語の分野: リソグラフィ
解説の中の「ペリクル」
ペリクルはマスクから約6 mm離して枠に張った厚さ1 µm以下の透明な膜で、異物はペリクルの上に付くため焦点が合わずにぼやけ、ウエハには転写されにくくなります。
フォトマスクの上に一定の間隔をあけて張る薄い膜(ペリクル)の役割はどれか。
「ペリクル」が出てくる問題(1問)
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