什麼是抗反射底層膜(BARC)

塗在光阻下方的薄膜，可抑制底層反射光造成的光阻內駐波，以及階梯處的尺寸變異。

日文名稱: 反射防止膜(BARC)

這個名詞所屬的領域: 微影

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