リソグラフィ

レジストの下に塗る反射防止膜(BARC)の主な目的はどれか。

  1. Aエッチングを速くする
  2. B下地からの反射光による、レジスト内の定在波や寸法のばらつきを抑える
  3. Cレジストとウエハを接着する
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正解：B. 下地からの反射光による、レジスト内の定在波や寸法のばらつきを抑える

露光光がレジストを通り抜けて下地で反射すると、入射光と干渉してレジスト内に定在波ができたり、下地の段差によって寸法がばらついたりします。BARCは下地からの反射を抑えて、寸法の精度を高めます。

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