ArF液浸露光で、フォトレジストの上に塗り、液浸の水とレジストが直接触れないようにする膜はどれか。

正解：C. トップコート

液浸露光では、レンズとウエハの間の水がレジストに触れるため、レジストの成分が水に溶け出したり、水がレジストにしみ込んだりするおそれがあります。トップコートはレジストの上に塗る保護膜で、これを防ぎます。トップコートが不要なように設計されたレジストもあります。