成膜(CVD・PVD) 液状の材料をウエハの中心に滴下し、高速で回転させて均一な膜をつくる方法を何と呼ぶか。 Aスパッタリング Bスピンコート Cイオン注入 答えと解説を見る 正解：B. スピンコート スピンコートでは、遠心力で液を広げ、余分な液を振り切って均一な膜をつくります。膜厚は回転数と液の粘度で調整します。フォトレジストの塗布や、塗布型の絶縁膜(SOG)の形成などに使われます。