計測・分析

細い針で試料の表面をなぞり、針の上下の動きから段差の高さや表面の形を測る装置はどれか。

  1. A質量分析計
  2. B触針式段差計(プロファイラ)
  3. Cエリプソメータ
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正解：B. 触針式段差計(プロファイラ)

触針式段差計は、先の細い針で表面を一定の力でなぞり、針の上下の変位から段差の高さや表面のうねりを測ります。エッチングの深さや膜の段差、CMP後の平坦性の確認などに使われます。AFMより測定範囲が広く、ミリメートル単位の走査もできます。

  • A. 質量分析計はイオンの質量から成分を調べる装置です。
  • B. 正しい。針で表面をなぞって段差を測ります。
  • C. エリプソメータは光の偏光の変化から膜厚を測る装置です。
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