複数の異なる計測手法(光学式・CD-SEM・AFMなど)のデータを組み合わせて、一つの手法だけより正確に寸法や形状を求める考え方を何と呼ぶか。

正解：B. ハイブリッドメトロロジー

先端の微細な構造では、1つの計測手法だけでは測れる量や精度に限界があります。ハイブリッドメトロロジーでは、ある手法で精度よく求めた値(膜厚など)を別の手法の解析モデルに入れるなどして、互いの弱点を補い、より正確な結果を得ます。

• A. そのような名前の一般的な計測の考え方ではありません。
• B. 正しい。複数の手法を組み合わせて精度を高める考え方です。
• C. そのような名前の一般的な計測の考え方ではありません。