計測・分析

AFMで、非常に細い溝や急な側壁の形を測るときに誤差の原因になりやすいことはどれか。

  1. AAFMは真空中でしか使えない
  2. B探針の先端の太さや形が有限であるため、測った形に探針の形が重なって写ってしまう
  3. CAFMは表面の凹凸を測れない
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正解:B. 探針の先端の太さや形が有限であるため、測った形に探針の形が重なって写ってしまう

AFMは探針で表面をなぞって形を測るため、探針の先端より細い溝の底には届かず、急な側壁では探針の側面が先に当たります。その結果、測った形は実際の形と探針の形を重ね合わせたものになります。先の細い探針や、形状を補正する解析が使われます。

  • A. AFMは大気中でも使えます。
  • B. 正しい。探針の形が測定結果に重なります。
  • C. AFMは表面の凹凸を測る装置です。
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