Qu'est-ce que Redistribution (drive-in) ?
En diffusion thermique, étape qui, après l'introduction en surface d'une quantité donnée d'impuretés (prédépôt), les fait pénétrer plus profondément par recuit à haute température.
Nom japonais: ドライブイン
« Redistribution (drive-in) » apparaît dans 8 questions d'entraînement réparties sur 5 thèmes, dont Packaging avancé (3D et chiplets), Oxydation et diffusion, Lithographie.
Domaine: Oxydation et diffusion