En diffusion thermique, quelle combinaison de formes de profil est correcte pour la diffusion à concentration de surface constante et pour la diffusion d’une quantité fixe de dopants (source finie) ?

Réponse : A. Concentration de surface constante : profil en fonction d’erreur complémentaire (erfc) ; source finie : profil gaussien

Lors du prédépôt, qui maintient constante la concentration de surface, le profil prend la forme d’une fonction d’erreur complémentaire (erfc), et la quantité introduite augmente avec le temps. Lors de la redistribution (drive-in), qui fait pénétrer une quantité fixe déjà introduite, le profil s’étend à quantité totale constante, la concentration de surface diminue et le profil prend une forme gaussienne. Combiner les deux permet de régler indépendamment la concentration de surface et la profondeur de jonction. Les diffusions réelles à forte concentration s’écartent de ces formes idéales.