Stap bij thermische diffusie waarbij na het inbrengen van een vaste hoeveelheid onzuiverheden aan het oppervlak (predepositie) bij hoge temperatuur wordt verhit om de onzuiverheden dieper te drijven. Ook indrijfdiffusie genoemd.
Japanse benaming: ドライブイン
“Drive-in” komt voor in 2 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Oxidatie en diffusie.
Vakgebied: Oxidatie en diffusie
Antwoord: C. Drive-in (indrijfdiffusie)
Thermische diffusie wordt vaak in twee stappen uitgevoerd: eerst brengt predepositie bij constant gehouden oppervlakteconcentratie een bepaalde hoeveelheid onzuiverheden ondiep aan, en daarna wordt bij drive-in de toevoer gestopt en verhit, zodat die hoeveelheid zich naar binnen verspreidt tot de gewenste diepte en verdeling. Tegenwoordig wordt gewoonlijk ionenimplantatie gebruikt, waarmee de hoeveelheid nauwkeurig kan worden bepaald, gevolgd door warmtebehandeling voor activering en bijstelling van de verdeling, maar bij onder meer zonnecellen en diepe diffusie voor vermogenscomponenten wordt het nog gebruikt.
Antwoord: A. Constante oppervlakteconcentratie: complementaire foutfunctie (erfc)-verdeling, eindige hoeveelheid: Gauss-verdeling
Bij predepositie, waarbij de oppervlakteconcentratie constant wordt gehouden, heeft de verdeling de vorm van een complementaire foutfunctie (erfc) en neemt de ingebrachte hoeveelheid met de tijd toe. Bij drive-in, waarbij een ingebrachte vaste hoeveelheid wordt ingedreven, verspreidt de onzuiverheid zich terwijl de totale hoeveelheid gelijk blijft, en krijgt de verdeling een Gauss-vorm terwijl de oppervlakteconcentratie daalt. Door beide te combineren kunnen oppervlakteconcentratie en overgangsdiepte afzonderlijk worden ingesteld. Bij echte diffusie met hoge concentratie wijkt de verdeling af van deze ideale vormen.
Thermische diffusie wordt vaak in twee stappen uitgevoerd: eerst brengt predepositie bij constant gehouden oppervlakteconcentratie een bepaalde hoeveelheid onzuiverheden ondiep aan, en daarna wordt bij drive-in de toevoer gestopt en verhit, zodat die hoeveelheid zich naar binnen verspreidt tot de gewenste diepte en verdeling.
Hoe heet bij thermische diffusie de stap waarmee onzuiverhe…Bij drive-in, waarbij een ingebrachte vaste hoeveelheid wordt ingedreven, verspreidt de onzuiverheid zich terwijl de totale hoeveelheid gelijk blijft, en krijgt de verdeling een Gauss-vorm terwijl de oppervlakteconcentratie daalt.
Welke combinatie van verdelingsvormen is juist voor diffusi…Thermische diffusie Numerieke apertuur (NA) Ionenimplantatie Deal-Grove-model Droge oxidatie Forming-gasanneal Grensvlaktoestanden (interface traps) LOCOS Mobiele ionen Natte oxidatie