Lithographie
Quelle est la longueur d'onde de la raie i de la lampe à mercure ?
- A365 nm
- B436 nm
- C193 nm
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Réponse : A. 365 nm
Parmi les raies de la lampe à mercure, la raie g est à 436 nm et la raie i à 365 nm ; il existe aussi la raie h (405 nm). La raie g a dominé dans les années 1980 et la raie i au début des années 1990, assurant la pointe jusqu'à la génération 0,35 µm. Les équipements à raie i, peu coûteux et à source de longue durée de vie, restent largement utilisés pour les couches peu exigeantes en finesse, les composants de puissance, les MEMS, une partie des capteurs d'image et la redistribution en packaging. 193 nm est la longueur d'onde de l'ArF.