En diffusion thermique, comment s’appelle l’étape qui, après l’introduction d’une quantité définie de dopants en surface, les fait pénétrer plus profondément ?

Réponse : C. Redistribution (drive-in)

La diffusion thermique se fait souvent en deux étapes : le prédépôt introduit d’abord à faible profondeur une quantité définie de dopants en maintenant constante la concentration de surface, puis la redistribution (drive-in) chauffe sans apport supplémentaire pour étendre cette quantité vers l’intérieur et obtenir la profondeur et le profil voulus. Aujourd’hui, on introduit généralement les dopants par implantation ionique, qui fixe précisément la dose, puis on règle activation et profil par traitement thermique ; la méthode reste cependant utilisée pour les diffusions profondes des cellules solaires et des composants de puissance.