Was ist Drive-in (Eintreiben)?

Bei der thermischen Diffusion der Hochtemperaturschritt nach dem Einbringen einer festen Dotierstoffmenge an der Oberfläche (Predeposition), der den Dotierstoff tiefer eintreibt.

Japanische Bezeichnung: ドライブイン

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Verwandte Begriffe

Bewegliche Ionen Deal-Grove-Modell Feuchte Oxidation Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal) Grenzflächenzustände LOCOS (lokale Oxidation) Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) RTP (schnelle thermische Behandlung) STI (Shallow-Trench-Isolation)

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