製程材料（氣體與藥液）
將常溫下為液體的原料（TEOS等）以氣體形式供應給CVD設備的方法，下列何者正確？
- A讓載氣通過液體以帶出蒸氣（起泡），或以氣化器將液體氣化後供應
- B將液體固化並磨成粉末後放入
- C將液體直接倒入反應爐
查看答案與解析
正確答案：A. 讓載氣通過液體以帶出蒸氣（起泡），或以氣化器將液體氣化後供應
液體原料是以氣體形式送入反應爐，方法有二：一是將載氣吹入溫度受控的容器以帶出蒸氣的起泡，二是量測液體流量後以氣化器一次氣化。起泡容易因液溫變化而使供應量波動，氣化器方式則可更精密地控制。TEOS是沸點約168 ℃的液體，管線也要加熱，以免再度變回液體。若以液體狀態直接倒入，無法進行均勻的成膜。
- A. 正確。以起泡或氣化器變成氣體後供應。
- B. 磨成粉末後放入的方法並不普遍。
- C. 直接倒入液體無法均勻成膜。