TEOSとは
てぃーおす
テトラエトキシシランの略。シリコン酸化膜のCVDで原料として広く使われる液体の有機シリコン化合物。段差被覆性のよい酸化膜が得られる。
この用語の分野: 成膜(CVD・PVD)
解説の中の「TEOS」
段差被覆性もよく、ポリシリコン、シリコン窒化膜、TEOS酸化膜などの成膜に使われます。
減圧CVD(LPCVD)の特徴として正しいものはどれか。TEOS(Si(OC2H5)4)は常温で液体の有機シリコン化合物で、気化させてCVDの原料に使います。
シリコン酸化膜のCVDで原料として広く使われる、液体の有機シリコン化合物はどれか。
「TEOS」が出てくる問題(3問)
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