TEOS란?
てぃーおす
テトラエトキシシランの略。シリコン酸化膜のCVDで原料として広く使われる液体の有機シリコン化合物。段差被覆性のよい酸化膜が得られる。
일본어 명칭: TEOS
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
관련 용어
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 真空蒸着 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD)
てぃーおす
テトラエトキシシランの略。シリコン酸化膜のCVDで原料として広く使われる液体の有機シリコン化合物。段差被覆性のよい酸化膜が得られる。
일본어 명칭: TEOS
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 真空蒸着 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD)