什麼是區域選擇性沉積

利用底層材料的差異，只在特定位置成長薄膜的技術。因可減少微影與蝕刻步驟，在先進導線等方面正進行研究與導入。

日文名稱: 領域選択成膜

這個名詞所屬的領域: 薄膜沉積（CVD與PVD）