在電容耦合電漿設備中，晶圓側電極自然帶有負直流電位的現象。正離子被加速射向晶圓，有助於非等向性蝕刻。
日文名稱: セルフバイアス
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
天線效應 灰化 自由基 非等向性蝕刻 乾式蝕刻 深寬比 終點偵測 硬遮罩 等向性蝕刻 腔體調適(Seasoning)
前往名詞解釋列表