RIE(反応性イオンエッチング)란?

あーるあいいー

プラズマ中の反応性の粒子と、電界で加速したイオンを組み合わせて削るドライエッチング。垂直な異方性の加工ができる。

일본어 명칭: RIE(反応性イオンエッチング)

분야: 식각

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