蝕刻僅沿特定方向（主要是垂直方向）進行的特性。是加工微細圖案所必需的。
日文名稱: 異方性エッチング
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
天線效應 灰化 自由基 自偏壓 乾式蝕刻 深寬比 終點偵測 硬遮罩 等向性蝕刻 腔體調適(Seasoning)
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