電漿製程中，長導線等導體如同天線般收集電荷，損傷所連接之閘極氧化膜的現象。以設計規則限制導線的面積比來防止。
日文名稱: アンテナ効果
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
灰化 自由基 自偏壓 非等向性蝕刻 乾式蝕刻 深寬比 終點偵測 硬遮罩 等向性蝕刻 腔體調適(Seasoning)
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