什麼是浸潤式微影

在透鏡與晶圓之間注滿水進行曝光的方法。可使數值孔徑達到1以上，利用ArF準分子雷射即可形成更細微的圖案。

日文名稱: 液浸露光

這個名詞所屬的領域: 微影