在ArF浸潤式曝光中，塗佈於光阻之上、使浸潤用的水與光阻不直接接觸的薄膜為下列何者？

正確答案：C. 頂層塗佈（topcoat）

在浸潤式曝光中，鏡頭與晶圓之間的水會接觸光阻，因此光酸產生劑等可能溶入水中而汙染鏡頭，或水滲入而造成圖案缺陷。頂層塗佈是塗在光阻之上的保護膜，可防止這些情況，並使表面具疏水性，讓水在載台高速移動時不致殘留。BARC是鋪在光阻下方的抗反射膜，光罩護膜是保護光罩的薄膜。