EUV曝光所使用的光，其波長為下列何者？

正確答案：C. 13.5 nm

EUV（極紫外光）曝光使用波長13.5 nm的光，波長約為ArF的1/14，可以一次曝光就形成微細圖案。這個波長的光會被包含空氣與玻璃在內的大多數物質吸收，因此不使用透鏡，而是採用以鉬與矽多層膜反射鏡構成的反射式光學系統，並將機台內部抽成真空。單面反射鏡的反射率約為70%，經過將近10面反射鏡後，大部分的光都會損失，所以需要強大的光源。