液浸露光란?
えきしんろこう
レンズとウエハの間を水で満たして露光する方法。開口数を1以上にでき、ArFエキシマレーザーでより細かいパターンを形成できる。
일본어 명칭: 液浸露光
분야: 포토리소그래피
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開口数(NA) 反射防止膜(BARC) 位相シフトマスク 焦点深度(DOF) 化学増幅型レジスト ArFエキシマレーザー EUV露光 High-NA EUV OPC(光学近接効果補正) オーバーレイ(重ね合わせ精度)
えきしんろこう
レンズとウエハの間を水で満たして露光する方法。開口数を1以上にでき、ArFエキシマレーザーでより細かいパターンを形成できる。
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開口数(NA) 反射防止膜(BARC) 位相シフトマスク 焦点深度(DOF) 化学増幅型レジスト ArFエキシマレーザー EUV露光 High-NA EUV OPC(光学近接効果補正) オーバーレイ(重ね合わせ精度)