在數值孔徑（NA）非常大的浸潤式曝光中，必須考慮光之偏振的理由，下列何者正確？

正確答案：C. 因為光以大角度入射，依偏振方向的不同，干涉的強度（影像對比）會改變

NA大時，入射到晶圓的光角度會變大（NA 1.35時在水中約70°）。若相互干涉的兩道光其電場方向垂直於紙面（TE偏振），會一致地強烈干涉；但若方向平行（TM偏振），角度愈大，彼此抵消的成分就愈多，影像對比便會下降。因此浸潤式曝光會使用配合線條方向、控制成TE偏振的偏振照明。

• A. 偏振不會改變波長。
• B. 偏振不會改變光阻的厚度。
• C. 正確。在大入射角下，偏振會改變影像對比。