Qu'est-ce que Salle blanche ?
Salle dans laquelle le nombre de particules en suspension dans l'air est maintenu sous un niveau spécifié et où la température, l'humidité et la pression sont également maîtrisées. La fabrication des semi-conducteurs se fait en salle blanche pour que les plaquettes ne soient pas contaminées.
Nom japonais: クリーンルーム
« Salle blanche » apparaît dans 36 questions d'entraînement réparties sur 4 thèmes, dont Salles blanches et équipements, Environnement, santé et sécurité, Oxydation et diffusion.
Domaine: Salles blanches et équipements
Classes de propreté
La propreté s'exprime par le nombre de particules dans un volume d'air donné, et la norme internationale ISO 14644-1 la répartit en classes de 1 à 9. Plus le nombre est petit, plus la salle est propre ; la classe ISO 5 admet jusqu'à 100 000 particules de 0,1 µm ou plus par mètre cube. Elle correspond à peu près à la classe 100 de l'ancienne norme fédérale américaine 209E, aujourd'hui retirée (100 particules de 0,5 µm ou plus par pied cube). Comme les personnes émettent beaucoup de particules, les opérateurs portent des tenues dédiées, des masques et des gants et passent par une douche à air avant d'entrer.
Questions fréquentes
Pourquoi les usines de semi-conducteurs ont-elles besoin de salles blanches ?
Quand les largeurs de ligne sont de quelques dizaines de nanomètres ou moins, une seule particule de taille comparable peut couper ou court-circuiter une piste et rendre la puce défectueuse. Outre les particules, les métaux comme le sodium et la contamination moléculaire aéroportée (AMC), comme l'ammoniac et les composés organiques, font aussi baisser le rendement de fabrication ; on les maîtrise donc également.
Comment les classes de salle blanche sont-elles définies ?
La norme ISO 14644-1 définit les classes 1 à 9 par le nombre maximal de particules par mètre cube d'air. Pour les particules de 0,1 µm ou plus, la limite de la classe N est 10 puissance N : chaque classe en dessous est donc 10 fois plus propre. Une classe s'indique avec l'état d'occupation dans lequel elle est mesurée : tel que construit (as-built), au repos (at-rest) ou en activité (operational).