什麼是OHT(天車式無人搬運車)

沿天花板軌道行駛，在製造設備之間自動搬運FOUP的裝置。是300 mm晶圓廠自動搬運的主角。

日文名稱: OHT(天井走行式無人搬送車)

「OHT(天車式無人搬運車)」出現在1領域的1道練習題中（矽晶圓等）。

這個名詞所屬的領域: 無塵室與製造設備

練習OHT(天車式無人搬運車)的題目

直徑300 mm、厚度775 µm的矽晶圓，每片的質量最接近下列哪一項？(矽的密度約為2.33 g/cm³)

  1. A約13 g
  2. B約1,280 g
  3. C約128 g
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正確答案：C. 約128 g

體積為 π × (15 cm)² × 0.0775 cm ≈ 54.8 cm³，乘以密度2.33 g/cm³ 後約為128 g。200 mm晶圓(厚度725 µm)則約53 g。裝入25片300 mm晶圓的容器(FOUP)總重約8 kg，所以工廠中以天花板搬運系統(OHT)自動搬運。重量與易碎性，是大口徑化後不再以人工搬運的原因之一。

解析中的「OHT(天車式無人搬運車)」

出現「OHT(天車式無人搬運車)」的題目（1題）

  1. 直徑300 mm、厚度775 µm的矽晶圓，每片的質量最接近下列哪一項？(矽的密度約為2.33 g/cm³)

相關名詞

FOUP 下降氣流 氣態分子汙染(AMC) 微環境 EFEM(設備前端模組) FFU(風扇過濾機組) HEPA濾網 ISO 14644-1 ULPA濾網

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