什麼是ISO 14644-1
依空氣中的微粒數量訂定無塵室潔淨度等級的國際標準。數字越小，潔淨度越高。
日文名稱: ISO 14644-1
這個名詞所屬的領域: 無塵室與製造設備
相關名詞
下降氣流 氣態分子汙染(AMC) 微環境 EFEM(設備前端模組) FFU(風扇過濾機組) FOUP HEPA濾網 OHT(天車式無人搬運車) ULPA濾網
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日文名稱: ISO 14644-1
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