什麼是HEPA濾網
可捕集99.97%以上粒徑0.3 µm微粒的高性能空氣濾網。能捕集更微細粒子的則是ULPA濾網。
日文名稱: HEPAフィルタ
這個名詞所屬的領域: 無塵室與製造設備
相關名詞
下降氣流 氣態分子汙染(AMC) 微環境 EFEM(設備前端模組) FFU(風扇過濾機組) FOUP ISO 14644-1 OHT(天車式無人搬運車) ULPA濾網
可捕集99.97%以上粒徑0.3 µm微粒的高性能空氣濾網。能捕集更微細粒子的則是ULPA濾網。
日文名稱: HEPAフィルタ
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下降氣流 氣態分子汙染(AMC) 微環境 EFEM(設備前端模組) FFU(風扇過濾機組) FOUP ISO 14644-1 OHT(天車式無人搬運車) ULPA濾網